特性 1~3維自由組合 大行程68μm 大承載5kg 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S. 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間 1-3維平移臺 XP-63X系列壓電納米定位臺可以通過疊加的方式組成XY，XZ，XYZ多種運(yùn)動結(jié)構(gòu)。多種規(guī)格型號可選。
柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。 體積小、剛度大、響應(yīng)速度快、閉環(huán)精度高 XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有大機(jī)械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負(fù)載情況下也具有很高的使用頻率，響應(yīng)時(shí)間可以實(shí)現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負(fù)載，響應(yīng)時(shí)間僅為5ms。
XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺設(shè)備集成。閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進(jìn)行修正，從而實(shí)現(xiàn)納米級的精密定位。 應(yīng)用實(shí)例 采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的精確力控制實(shí)驗(yàn)。 |
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