1.維θx向壓電偏轉鏡4mrad介紹
P22系列壓電偏轉鏡是一維θx軸偏轉鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導向設計具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導向精度。提供納弧度的分辨率和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉范圍可達8mrad, 具有極快的響應速度（毫秒至微秒級），非常適于動態(tài)操作（例如跟蹤、掃描、漂移及振動消除）及光學和樣品的靜態(tài)定位。
2.維θx向壓電偏轉鏡4mrad 特性
• θx一維偏轉，zui大偏轉角度4mrad • 閉環(huán)定位精度高 • 分辨率高 • 外形超薄 • 亞毫秒響應時間
運動方式
頻率負載曲線
閉環(huán)曲線
閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測電壓與偏轉鏡輸出偏轉角度成線性關系。
小體積、高動態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選
維θx向壓電偏轉鏡4mrad 結構原理
壓電驅動俯仰/偏轉臺（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉，相移器）提供比音圈電機類產品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉范圍 4mrad，偏轉分辨率達0.1μrad，開環(huán)閉環(huán)可選，閉環(huán)傳感器包括應變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。
超小體積設計，具有非?？斓捻憫俣龋蓭лdØ15mm的鏡片實現(xiàn)0.8ms的階躍時間。
平臺由一個鉸鏈支撐，并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點，兼起到給壓電促動器施加預緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設計的優(yōu)點是結構簡單、體積小巧、性價比高等。
如果角度偏轉時工作環(huán)境溫度變化范圍較大，推薦使用差分驅動壓電偏轉鏡。
應用
產品測試
• 圖像處理/穩(wěn)定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動 • 光束偏擺/穩(wěn)定 • 光學、激光掃描、通信 • 光過濾/轉換 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡
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