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新品推薦!H81A.XYZ20S/K三維壓電宏微復(fù)合平臺

更新時間: 2023-04-19

宏微復(fù)合跨尺度兩級驅(qū)動精密定位技術(shù)是****、航空航天、精密加工、生物科學(xué)和精密光學(xué)等領(lǐng)域的關(guān)鍵支撐技術(shù)之一。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,精密定位技術(shù)對定位系統(tǒng)行程和精度的需求越來越大,宏微復(fù)合兩級驅(qū)動精密定位技術(shù)克服了傳統(tǒng)的單一驅(qū)動定位技術(shù)難于實現(xiàn)大行程、高精度的技術(shù)難題,在體積、行程、響應(yīng)速度、定位精度等方面均具有較大的優(yōu)勢。

哈爾濱芯明天科技有限公司以實際應(yīng)用為主進行研發(fā),克服各項技術(shù)難題,將手動調(diào)節(jié)微動臺與壓電納米定位臺相結(jié)合,將定位臺的行程擴展到幾十毫米,同時可達到納米級的分辨率,以滿足不同大行程、高精度要求的應(yīng)用。

本次介紹的就是一款宏微復(fù)合跨尺度兩級驅(qū)動的壓電精密定位臺,它的型號為H81A.XYZ20S/K。它可在XYZ三個方向產(chǎn)生運動,每軸千分尺行程為4mm,壓電行程為18μm。實物外觀如下圖所示。

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H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺的一端具有移動臺面,臺面尺寸為60mm×60mm,在移動臺面上配有16個M3的負載安裝孔。該平臺固定于一個112mm×112mm的底座,在底座上具有8個φ8mm及3個φ6.4mm的通孔,以便于該壓電宏微復(fù)合平臺的固定安裝。

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手動千分尺調(diào)節(jié)結(jié)合壓電納米調(diào)節(jié)

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺采用了手動千分尺調(diào)節(jié),該千分尺的行程為4mm,單圈調(diào)節(jié)為500μm。

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該宏微復(fù)合平臺的壓電驅(qū)動部分是由壓電陶瓷來驅(qū)動,施加電壓信號來控制。通過芯明天壓電控制器對壓電平臺內(nèi)部壓電陶瓷施加電壓信號,壓電陶瓷產(chǎn)生相應(yīng)的位移,再由柔性結(jié)構(gòu)傳遞到移動臺面,從而使得移動臺面產(chǎn)生微納米級的微位移運動。

該部分壓電驅(qū)動的連接是通過引線及連接器將壓電控制器與壓電宏微復(fù)合平臺相連的。該套壓電系統(tǒng)的引線兩端都采用連接器連接。

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配套控制器

E01.D3系列壓電控制器非常適于驅(qū)動H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺,它具有閉環(huán)伺服模塊,可進行伺服控制;此外,可通過上位機軟件進行控制。

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E70系列三通道壓電控制器是一款小體積壓電控制器,同樣適于驅(qū)動H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺,它也具有閉環(huán)伺服功能及上位機通信功能,可進行伺服控制及上位機軟件控制。
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技術(shù)參數(shù)

E01.D3系列壓電控制器驅(qū)動H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺的基本參數(shù)如下。

型號
H81.XYZ20S/K
運動自由度
X Y Z
宏動部分 - 千分尺
粗調(diào)行程范圍
4mm
精調(diào)精度
500μm/turn
微動部分 - 壓電
標稱行程范圍
(0~150V)
18μm
傳感器類型
SGS
閉/開環(huán)分辨率
1/0.2nm
閉環(huán)線性度
0.3%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度
0.2%F.S.
承載能力
1kg
靜電容量
1.8μF/軸
材質(zhì)
鋼、鋁
重量
1kg
驅(qū)動控制
3路驅(qū)動,3路傳感

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