壓電移相器是基于壓電陶瓷設(shè)計(jì)并通過驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷產(chǎn)生微運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)移相功能的，在電壓信號(hào)的控制下產(chǎn)生納米級(jí)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，完成干涉中要求的微小移相運(yùn)動(dòng)。
壓電移相器由兩部分組成，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)與手調(diào)微動(dòng)螺釘。為保證對(duì)位移的高分辨率要求，壓電陶瓷移相器采用壓電陶瓷直驅(qū)技術(shù)結(jié)構(gòu)，確保陶瓷的高分辨率可以直接輸出，而不受外部機(jī)械結(jié)構(gòu)的影響。手調(diào)微動(dòng)螺釘則采用高精螺絲和襯套，保證了手動(dòng)調(diào)節(jié)的精度。
移相干涉技術(shù)是一種利用干涉圖對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行測量的技術(shù)，其中核心部件為移相器，一般常用微位移運(yùn)動(dòng)器件驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)。壓電式移相器，以其優(yōu)良的測試精度而被廣泛用于各種現(xiàn)代干涉儀器中，并被廣泛地應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域。
壓電式移相器是由壓電控制器所驅(qū)動(dòng)，它所能移動(dòng)的位移與壓電控制器施加于它的電壓信號(hào)有關(guān)，并與其大小成線性關(guān)系。壓電式移相器具有體積小巧、高精度、納米級(jí)高分辨率、響應(yīng)速度快、高剛度、控制簡單且不受磁場影響等優(yōu)點(diǎn)。
壓電陶瓷移相器的內(nèi)部是由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，它由直流電壓信號(hào)來控制，在150V電壓下產(chǎn)生的位移約0.7µm，可用于快速步進(jìn)移相應(yīng)用。壓電陶瓷移相器的驅(qū)動(dòng)電壓上限為800V，在此電壓下，產(chǎn)生的位移約3.73µm。
該壓電移相器是專為移相應(yīng)用而設(shè)計(jì)，可通過電壓控制進(jìn)行超快速步進(jìn)調(diào)節(jié)，同時(shí)，可通過手動(dòng)調(diào)節(jié)θx、θy兩軸的偏轉(zhuǎn)角度，角度調(diào)節(jié)范圍可達(dá)±4°。將鏡片調(diào)節(jié)與移相步進(jìn)結(jié)合，使其更方便于像移、干涉測量等應(yīng)用。
