中空式二維壓電偏擺臺
S54系列是具有中心通孔，二維θxθy軸方向運動的壓電偏擺臺，內部柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析優(yōu)化，使其角度偏移小，響應速度快。采用壓電陶瓷驅動實現(xiàn)偏轉范圍達±1mrad，分辨率可達0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實現(xiàn)0.1%F.S.的重復定位精度。
S54的臺體非常薄，厚度僅為20mm，80×80mm的中心通孔使其非常適用于亞微弧度精密光束調整、計量、定位等應用。
特點
• θx、θy偏擺運動
• 開環(huán)/閉環(huán)可供選擇
• 80×80mm通孔
• 分辨率高
• 適于加速度/角速度傳感器標定
電壓位移曲線
應用
S54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用于激光合束等應用。
技術參數(shù)
型號：S54.T2
運動自由度：θx、θy
偏擺角度(0~120V)：±0.8mrad/軸（≈±165"）
偏擺角度(0~150V)：±1mrad/軸（≈±200"）
閉環(huán)傳感器：SGS
閉/開環(huán)分辨率：0.25μrad（≈0.05"）/0.05μrad（≈0.01"）
閉環(huán)線性度：0.2%F.S.
閉環(huán)重復定位精度：0.1%F.S.
推/拉力：40/8N
運動方向剛度：0.5N/μm
空載諧振頻率：X450/Y400Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間：20/3.5ms
閉環(huán)工作頻率（-3dB）：110Hz（空載）
承載能力：1 kg
工作溫度范圍：-20~80℃
靜電容量：3.6μF/軸
材質：鋁、鋼
重量：510g
出線長：1.5m
